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Recherche - Valorisation
Integrated Mach- Zehnder interferometer on SU-8 polymer for versatile pressure sensor,
N. Pelletier, B. Bêche, N. Tahani, L. Camberlein, E. Gaviot, A. Goullet, J.P. Landesman, J. Zyss,IEEE Sensors 2005, vol. 4, pp. 640-643.
- Type :
- Publication